搞定宣发和youtube,林平安又进入了长时间的开发模式。
五月底的深圳,雨季刚过,空气中透着一股湿热的躁动。
观澜光刻城一号总装车间内,那种躁动被彻底隔绝在厚重的防爆墙之外,取而代之的是一种近乎凝固的死寂。
一台足有两层楼高、占地几十平方米的银白色巨兽,静静地矗立在超净间的中央。
它有着复杂的管路、精密的镜头组、以及那个被无数工程师视为“禁区”的核心部件——浸没式光刻头。
这就是代号“盘古”的国产首台浸没式光刻机原型机。
此时此刻,它像是一头沉睡的巨龙,等待着最后的唤醒。
现场的气氛压抑得让人喘不过气来。
彼得双手死死地抓着控制台的边缘,他的额头上渗出了细密的汗珠,尽管车间里的恒温系统一直维持在令人舒适的22度。
不仅是他,身后那几十名来自全球各地的顶尖工程师,此刻也都像是等待宣判的囚徒。
有人在胸口画着十字,有人在转动手里的笔,还有人在不停地吞咽口水。
“First Light”(首光)。
这是光刻机制造领域最神圣、也最令人畏惧的词汇。
它意味着这台由十万个零件组成的精密机器,将第一次真正通电、通光、通水,去挑战物理学的极限。
一旦失败,可能意味着无数个日夜的努力化为泡影。
“老板,所有子系统自检完毕。”
何奇的声音打破了死寂,“水循环系统正常,激光器预热完成,工件台……准备就绪。”
所有人的目光都集中到了那个站在总控台前的年轻人身上。
林平安。
他依然穿着那身洁白的防尘服,护目镜后的眼神平静如水,仿佛他面对的不是人类工业皇冠上的明珠,而是一台普通的微波炉。
“彼得,你看起来很紧张?”
林平安转过头,甚至还有心情调侃了一句。
“BOSS……这可是浸没式!水和光,这两种东西本来就是冤家!”彼得的声音都在抖,“只要有一个气泡,哪怕是微米级的气泡,光路就会发生折射,曝光就会失败!这就像是在每秒高速移动的过山车上穿针引线!”
“在别人那里,是冤家。”
林平安转过身,手指轻轻放在了那个红色的“启动”按钮上。
“但在我这里,它们是情人。”
林平安小声开口,“小白,接管全系统。”
“明白,先生。”
耳机里传来小白那让人无比安心的声音,“流体力学模型加载完毕,热透镜效应补偿算法已就位,实时波前像差校正已启动。”
“那就……点火。”
林平安的手指轻轻按下。
“嗡——”
一声极低沉、极具穿透力的电流声瞬间响彻车间。
这头沉睡的巨兽,苏醒了。
“注水!”
随着指令下达,那个最令人提心吊胆的环节开始了。
超纯水通过特制的喷嘴,被注入到投影镜头和晶圆之间的那层狭小缝隙中。
那是只有几毫米的间隙!
水流必须形成一个完美、稳定、且随着晶圆台高速运动而不会破碎的“水膜”。
这就好比你要在疾驰的高铁顶上顶着一杯水,还得保证水面连一丝涟漪都没有。
大屏幕上,高速摄像机实时传回了微观视角的画面。
彼得瞪大了眼睛,死死盯着屏幕。
“气泡!千万别有气泡!”他在心里疯狂祈祷。
然而,画面上的一幕让他彻底傻眼了。
水流极其顺滑地流过,在空气气帘的约束下,乖巧得像是一块凝固的水晶。
没有湍流。
没有飞溅。
更没有该死的气泡!
“这……这流体控制……”彼得喃喃自语,“这简直就是艺术!它是怎么做到的?它是怎么预判液体流向的?”
他不知道,在小白的算力世界里,每一个水分子的运动轨迹都已经被模拟了上亿次。
这就是“全知全能”。
“流场稳定。”林平安的声音依旧平淡,“开始曝光。”
“滋——滋——滋——”
深紫色的ArF激光束穿过复杂的透镜组,穿过那层完美的水膜,狠狠地撞击在涂满光刻胶的12寸晶圆上。
工件台开始疯狂移动。
那是令人眼花缭乱的速度,每秒钟移动数百次,还要保持纳米级的定位精度。
“这就是所谓的‘加强版双工件台’技术?”
旁边的一个德国工程师看得目瞪口呆,“这速度比以前的ASML的还要快30%!而且稳得像磐石一样!”
十分钟。
仅仅十分钟,一张晶圆曝光完成。
机械臂将其送入显影机。
所有人都屏住了呼吸,等待着那个最终的判决。
显影完成。
晶圆被送到了高倍电子显微镜下。
图像被投射到了中央大屏幕上。
那一刻。
车间里响起了一片抽气声。
屏幕上,是一排排整齐、锐利、如同刀切豆腐般完美的电路图。
线条笔直,边缘清晰,没有任何驻波效应,没有任何线宽粗糙(LER)。
“测量线宽!”彼得吼道。
“线宽……45.00n!”
检测员的声音因为极度亢奋而破音了,“误差……小于0.5n!套刻精度……2n!”
“轰——!!!”
虽然车间里禁止大声喧哗,但此刻没人顾得上了。
“成功了!我们成功了!”
“45纳米!一次成功!上帝啊!”
“这怎么可能?我们居然一次就做到了完美?”